CV-3100/CV-4100
X轴 |
测量范围 |
100mm或200mm |
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分辨率 |
0.05μm |
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测量方法 |
反射型光栅尺 |
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驱动速度 |
80mm/s和手动 |
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测量速度 |
0.02-5mm/s |
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测量方向 |
向前/向后 |
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直线度 |
0.8μm /mm,2μm/mm(当X轴在水平方向上) |
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指示精度
(20℃) |
±(1+0.01L)μm(CV-3100S4,H4,W4)
±(0.8+0.01L)μm(CV-4100S4,H4,W4)
±(1+0.02L)μm(CV-3100S8,H8,W8)
±(0.8+0.02L)μm(CV-3100S8,H8,W8)
L为驱动长度(mm) |
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倾斜范围 |
±45° |
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Z2轴(立轴) |
垂直行程 |
300mm或500mm |
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分辨率 |
1μm |
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测量方法 |
ABSQLUTE光栅尺 |
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驱动速度 |
0-20mm/s和手动 |
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Z1轴 |
测量范围 |
±25mm |
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分辨率 |
0.2μm(CV-3100系列)
0.05μm(CV-4100系列) |
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测量方法 |
光栅尺(CV-31000系列)
Laser holigage(CV-4100系列) |
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指示精度
(20℃) |
±(2+14H/100)μm(CV-3100系列)
±(0.8+12H/00)0.05μm(CV-4100系列)
H为水平位置上的测量高度(mm) |
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探针上下运作 |
弧形运动 |
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探针方向 |
向上/向下 |
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测力 |
30mN |
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跟踪角度 |
向上 |
77° |
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向下 |
87° |
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探针针尖 |
半径 |
25μm |
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材料 |
硬质合金针尖 |
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基座尺寸(WxH) |
750x600mm或1000x450mm |
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基座材料 |
花岗岩 |
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重量 |
主机 |
140kg(S4) 150kg(H4) 155kg(W4)
145lg(S8) 155kg(H8) 160kg(W8) |
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控制装置 |
14kg |
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遥控箱 |
0.9kg |
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电源 |
100-240VAC±10% 50/60Hz |
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能耗 |
400W仅限主机 |
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