型号 |
HM-101 |
HM-102 |
HM-103 |
HM-112 |
HM-113 |
|
测量范围 |
98.07、245.2、490.3、1961、2942、4903、9807mN |
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测量设置 |
通过表盘 |
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装载精度 |
±1% |
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装载控制 |
自动(装载、时间、卸载) |
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装载时间 |
5s-30s(5s增量) |
5s-60s(5s增量) |
5s-99s(5s增量) |
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XY工
作台 |
尺寸 |
100×100mm |
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行程 |
25×25mm(带微分头) |
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最小读数 |
0.01mm |
0.001mm |
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最大测试物高度 |
95mm |
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最大测试物深度 |
150mm(从压头轴心开始) |
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压头/物镜旋转盘 |
手动型 |
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压头管脚数 |
1 |
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目镜管脚数 |
2(10X 50X) |
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光程 |
双路(测光/曝光) |
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最小读数 |
0.2μm |
0.1μm |
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数据输出 |
RS232C、Digimatic编码(SPC)、Centronics |
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电源 |
100/120/220/240V AC,50/60HZ |
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尺寸 |
主机 |
410(W)×600(D)×590(H)mm |
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控制装置 |
165×260×160mm |
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重量 |
约42kg |
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